大部分的氣體在中紅外區(qū)都有特征吸收峰，檢測特征吸收峰位置的吸收情況，就可以確定某氣體的濃度。 這種傳感器過去都是大型的分析儀器，但是近些年，隨著以MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)的傳感器工業(yè)的發(fā)展，這種傳感器的體積已經(jīng)由10升、45公斤的巨無霸，減小到2毫升(拇指大小)左右。使用無需調(diào)制光源的紅外探測器使得儀器完全沒有機械運動部件，完全實現(xiàn)免維護化。 紅外線氣體傳感器可以有效地分辨氣體的種類，準確測定氣體濃度。 這種傳感器成功的用于：二氧化碳、甲烷的檢測。